Hexametildisilazano LS-611/HMDS (HMDS)
CAS NO. 999-97-3
Usado como um tackifier e fotorresistente no processo de fotolitografia de chip, fotorresistente, usado como um estabilizador para eletrólito de bateria de lítio, pode melhorar o desempenho eletroquímico e o desempenho do ciclo de baterias de iões de lítio, e uso médico.